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真空鍍膜掉膜應(yīng)如何解決

       空鍍膜會遇到掉膜的情況,產(chǎn)生這樣情況的原因在于哪里,如何去解決這些問題呢?
       1、表面清潔度
       產(chǎn)品表面潔凈度不夠,可以考慮離子源清洗時氬氣放大、時間長點。
       2、清洗過程中的問題
       鍍前清洗不到位,或更換了清洗液。
       3、工藝的問題
       工藝參數(shù)是否有變動,在鍍膜時間和電流上做適當(dāng)調(diào)整。
       4、靶材的問題
       鈦靶是否中毒,檢查和更換。
       5、真空腔是否漏氣
       進(jìn)行次撿漏。
       6、產(chǎn)品表面氧化
       氧化的原因很多,可以自行判斷處理。
2021/08/19 16:19:01 2244 次